常见的真空泵种类有哪些?
发布时间：
2022-07-08
真空泵种类有很多，按工作原理可以分为：气体输送泵和气体捕集泵；按真空度可以分为：粗真空度、高真空度和超高真空度。 按工作原理分： 一、气体输送泵： 1、变容真空泵 1）往复式 2）旋片式： （1）油封式：旋片、滑阀式、定片式、余摆线式、多室旋片式； （2）干式螺杆； （3）液环式； （4）罗茨真空泵； 2、动量传输泵 1）分子真空泵：牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵； 2）喷射真空泵：液体喷射真空泵、气体喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵； 3）扩散泵：自净化扩散泵、分馏式扩散泵； 4）扩散喷射泵； 5）离子输运泵； 二、气体捕集泵 1、吸附泵； 2、吸气剂泵； 3、吸气剂离子泵：蒸发离子泵、溅射离子泵； 4、低温泵；
真空泵种类有很多，按工作原理可以分为：气体输送泵和气体捕集泵；按真空度可以分为：粗真空度、高真空度和超高真空度。
按工作原理分：
一、气体输送泵：
1、变容真空泵
1）往复式
2）旋片式：
（1）油封式：旋片、滑阀式、定片式、余摆线式、多室旋片式；
（2）干式螺杆；
（3）液环式；
（4）罗茨真空泵；
2、动量传输泵
1）分子真空泵：牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵；
2）喷射真空泵：液体喷射真空泵、气体喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵；
3）扩散泵：自净化扩散泵、分馏式扩散泵；
4）扩散喷射泵；
5）离子输运泵；
二、气体捕集泵
1、吸附泵；
2、吸气剂泵；
3、吸气剂离子泵：蒸发离子泵、溅射离子泵；
4、低温泵；
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